Tantal-Target

Tantal-Target

Tantal-Targets zeichnen sich durch Eigenschaften wie hohe Reinheit, dichte Struktur und gute Sputterstabilität aus und zeigen eine stabile Leistung unter Hochvakuum- und Plasmaumgebungen. Die aus Tantal-Targets gebildeten dünnen Filme weisen eine starke Haftung, gute Gleichmäßigkeit und hohe chemische Stabilität auf und werden daher häufig in Bereichen der Dünnfilmabscheidung wie Halbleitern, integrierten Schaltkreisen, Anzeigetafeln und optischen Beschichtungen eingesetzt.

Produkteinführung

Unser Tantal-Target

 

 

Dimension

Durchmesser 50–400 mm x Dicke 3–28 mm

Grad

R05200 R05400 R05252 (Ta-2,5W) R05255 (Ta-10W)

Reinheit

Größer oder gleich 99,95 % (maximal 99,99 %)

Umkristallisieren

Mindestens 95 %

Körnung

Mindestens 40 um

Oberflächenrauheit

Maximal Ra0,4

Ebenheit

0,1 mm oder maximal 0,10 %

Toleranz

Durchmesser +/-0,254 mm

 

Herstellungsprozess – Elektronenstrahl-Vakuumschmelzen

 

 

Als Kernschmelzverfahren für Tantalbarren verwenden wir das Elektronenstrahl-Vakuumschmelzen (EB).

Prozessvorteile:

● Die Ultrahochvakuumumgebung minimiert die Gasverunreinigung

● Hervorragende Entfernung von Sauerstoff, Stickstoff, Wasserstoff und metallischen Verunreinigungen

● Äußerst gleichmäßige Mikrostruktur und chemische Zusammensetzung

● Erhöhte Korrosionsbeständigkeit und Lebensdauer

● Hervorragende Konsistenz zwischen den Chargen

Dieser Prozess ist besonders wichtig für Anwendungen, die eine hohe Reinheit, Langzeitstabilität und extreme Korrosionsbeständigkeit erfordern.

 

 

 

Qualitätskontrolle

 

 

Auf Anfrage werden für jede Lieferung Mühlentestzertifikate (MTC) bereitgestellt.

  • Analyse der chemischen Zusammensetzung
  • Maß- und Oberflächenprüfung
  • Prüfung der mechanischen Eigenschaften
  • Chargenrückverfolgbarkeit und Dokumentation

 

 

 

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